技術(shù)文章
KASHIYAMA日本樫山真空泵SDH3000的特點(diǎn)
工藝耐性好:屬于 SDH 系列,具有 Super Hirsch 對應(yīng)和工藝耐性的特點(diǎn),能適應(yīng)各種復(fù)雜工藝環(huán)境。
無油干式設(shè)計(jì):采用無潤滑油機(jī)械結(jié)構(gòu),可避免介質(zhì)污染,適用于如半導(dǎo)體晶圓制造等超潔凈工藝環(huán)境。
氮?dú)獯祾吖δ埽褐С值獨(dú)獯祾吖δ?,氮?dú)饬髁靠稍?0 至 80SLM 范圍內(nèi)調(diào)節(jié),增強(qiáng)了工藝靈活性。
抽氣能力較強(qiáng):最大抽速可達(dá) 30,000L/min,極限壓力為 0.5Pa,能快速有效地抽取氣體,滿足不同應(yīng)用場景的真空需求。
高效節(jié)能:通過新型加熱器系統(tǒng)與機(jī)械結(jié)構(gòu)優(yōu)化,實(shí)現(xiàn)低功耗化,功率為 3.3kW。
外形尺寸緊湊:長度為 910mm、寬度為 420mm,高度為 900mm,機(jī)身較為小巧,節(jié)省安裝空間。
冷卻水需求低:冷卻水流量僅需 4.0L/min,對冷卻系統(tǒng)要求不高,可降低運(yùn)行成本和設(shè)備復(fù)雜度。
安全可靠:符合工業(yè)安全標(biāo)準(zhǔn),配備高安全性防護(hù)設(shè)計(jì),能在工況下穩(wěn)定運(yùn)行。
產(chǎn)品兼容性好:支持與同系列設(shè)備協(xié)同工作,可擴(kuò)展應(yīng)用場景,例如可與 SDT600 或 SDX1200 等搭配使用。
應(yīng)用領(lǐng)域廣泛:適用于化工、電子 / 電池、半導(dǎo)體制造、實(shí)驗(yàn)室等領(lǐng)域,可用于晶圓加工、蝕刻等關(guān)鍵工藝的真空環(huán)境控制,以及高純度實(shí)驗(yàn)環(huán)境及腐蝕性氣體處理。
關(guān)于我們
公司簡介 企業(yè)文化 榮譽(yù)資質(zhì)產(chǎn)品分類
儀器儀表 光學(xué)儀器 五金機(jī)電 機(jī)械備品新聞文章
新聞中心 技術(shù)文章聯(lián)系我們
聯(lián)系方式 在線留言 地圖導(dǎo)航13548726171
(全國服務(wù)熱線)湖南省長沙市岳麓區(qū)學(xué)士街道學(xué)豐路1008號迪亞溪谷山莊B310棟104號
nakamura@csmro.com
添加微信
Copyright © 2025湖南中村貿(mào)易有限公司 All Rights Reserved 工信部備案號:湘ICP備2024066514號-5
技術(shù)支持:化工儀器網(wǎng) 管理登錄 sitemap.xml