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KASHIYAMA日本樫山真空泵MUH3000的特點(diǎn)無油潔凈:采用無油運(yùn)轉(zhuǎn)設(shè)計(jì),避免了油污染,可確保工藝腔體潔凈無殘留,適用于對(duì)潔凈度要求高的行業(yè),如半導(dǎo)體、液晶、LED及太陽(yáng)能光伏等。抽速高:最大抽速可達(dá)30,000L/min,能適應(yīng)中高負(fù)載真空需求,可快速有效地抽取氣體,提高工作效率。極限壓力低:極限壓力為0.5Pa,可獲得較高的真空度,滿足一些對(duì)真空環(huán)境要求苛刻的工藝需求。節(jié)能環(huán)保:配備低功耗電機(jī),運(yùn)行能效比優(yōu)于同類產(chǎn)品,在達(dá)到所需真空度的同時(shí),能有效降低能耗,節(jié)省運(yùn)行...
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KASHIYAMA日本樫山真空泵MUP1800E的特點(diǎn)氣體適應(yīng)性強(qiáng):能夠排出含有水蒸氣或水滴的氣體,也可排出易燃、腐蝕性氣體,適用于多種復(fù)雜氣體環(huán)境。運(yùn)行穩(wěn)定可靠:摩擦部件少,能承受連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn),不易出現(xiàn)故障,可長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定工作,減少維護(hù)成本和停機(jī)時(shí)間。低噪音、低振動(dòng):通過減振技術(shù)和優(yōu)化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),有效降低了運(yùn)行中的噪音和振動(dòng),為工作環(huán)境提供了較好的條件。高效節(jié)能:所有模型均為埃爾莫型,比傳統(tǒng)納什型具有更好的效率達(dá)標(biāo)壓力,能以較少的能耗達(dá)到較好的真空效果,實(shí)現(xiàn)節(jié)能運(yùn)行。供水系統(tǒng)優(yōu)化:...
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KASHIYAMA日本樫山真空泵MUP1200E的特點(diǎn)無油干式運(yùn)行:采用無潤(rùn)滑油機(jī)械結(jié)構(gòu),避免了油蒸氣對(duì)工藝環(huán)境的污染,特別適用于對(duì)潔凈度要求場(chǎng)合,如半導(dǎo)體制造、液晶顯示制造等。抽氣能力強(qiáng):最大抽速可達(dá)20,000L/min,能快速有效地抽取氣體,可滿足不同應(yīng)用場(chǎng)景對(duì)真空度的需求。極限真空度高:極限壓力可達(dá)到0.1Pa甚至更低,能夠提供高真空環(huán)境,滿足如半導(dǎo)體工藝中一些對(duì)真空度要求嚴(yán)苛的工藝步驟。氮?dú)獯祾吖δ埽褐С值獨(dú)獯祾撸獨(dú)饬髁靠稍谝欢ǚ秶鷥?nèi)調(diào)節(jié),通常能在0至60SLM范...
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KASHIYAMA日本樫山真空泵MUP600E的特點(diǎn)無油干式技術(shù):采用螺桿式/爪式轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu),通過精密嚙合轉(zhuǎn)子實(shí)現(xiàn)氣體壓縮,全程無潤(rùn)滑油,可避免油蒸氣污染,特別適合如晶圓加工等對(duì)潔凈度要求高的敏感工藝。耐腐蝕設(shè)計(jì):轉(zhuǎn)子與腔體采用不銹鋼鍍層或陶瓷涂層,能夠耐受酸性氣體(如HCl、Cl?)和顆粒物,適用于處理腐蝕性氣體的場(chǎng)合。抽速較高:最大抽速可達(dá)10,000L/min,能夠快速抽取氣體,提高工作效率。極限真空度高:極限壓力可達(dá)0.1Pa(0.001mbar),可滿足對(duì)真空度要求嚴(yán)...
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KASHIYAMA日本樫山真空泵SDE1203X/TX的特點(diǎn)抽氣速度快:最大抽氣速度可達(dá)20,000L/min。能快速抽取氣體,可有效縮短抽氣時(shí)間,提高工作效率,適用于對(duì)真空環(huán)境建立速度要求高的工藝。極限壓力低:極限壓力為0.5Pa,可提供高真空度,滿足半導(dǎo)體制造、光學(xué)制造等對(duì)真空度要求苛刻的領(lǐng)域的需求。耐腐蝕性強(qiáng):采用垂直螺桿和特殊材料,通過結(jié)構(gòu)材料和溫度設(shè)定,使其具有高耐腐蝕性,能適應(yīng)各種復(fù)雜的工藝流程和惡劣的工作環(huán)境,可應(yīng)用于有腐蝕性氣體的工藝中。節(jié)能高效:屬于節(jié)能型產(chǎn)...
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