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KASHIYAMA日本樫山真空泵SDH6000的特點工藝耐性強:屬于SDH系列,具有SuperHirsch對應(yīng)和工藝耐性的特點,能適應(yīng)各種復(fù)雜工藝環(huán)境。無油干式設(shè)計:采用無潤滑油機械結(jié)構(gòu),可避免介質(zhì)污染,適用于超潔凈工藝環(huán)境,如半導(dǎo)體晶圓制造等。氮氣吹掃功能:支持氮氣吹掃功能,氮氣流量可在0至80SLM范圍內(nèi)調(diào)節(jié),增強工藝靈活性。抽氣能力強:最大抽速可達60,000L/min,極限壓力為0.5Pa,能快速有效地抽取氣體,滿足不同應(yīng)用場景的真空需求。高效節(jié)能:通過新型加熱器系統(tǒng)...
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KASHIYAMA日本樫山真空泵SDH3000的特點工藝耐性好:屬于SDH系列,具有SuperHirsch對應(yīng)和工藝耐性的特點,能適應(yīng)各種復(fù)雜工藝環(huán)境。無油干式設(shè)計:采用無潤滑油機械結(jié)構(gòu),可避免介質(zhì)污染,適用于如半導(dǎo)體晶圓制造等超潔凈工藝環(huán)境。氮氣吹掃功能:支持氮氣吹掃功能,氮氣流量可在0至80SLM范圍內(nèi)調(diào)節(jié),增強了工藝靈活性。抽氣能力較強:最大抽速可達30,000L/min,極限壓力為0.5Pa,能快速有效地抽取氣體,滿足不同應(yīng)用場景的真空需求。高效節(jié)能:通過新型加熱器系...
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KASHIYAMA日本樫山真空泵SDT1800的特點工藝耐性強:除形狀的螺桿外,新的加熱器系統(tǒng)進一步強化了工藝耐性,特殊材料具備高耐腐蝕性,能適應(yīng)豐富的溫度變化,可實現(xiàn)廣泛的工藝響應(yīng)。無油干式設(shè)計:采用無潤滑油機械結(jié)構(gòu),可避免介質(zhì)污染,適用于超潔凈工藝環(huán)境,如半導(dǎo)體晶圓制造等。氮氣吹掃功能:支持氮氣吹掃功能,氮氣流量可在0至120SLM范圍內(nèi)調(diào)節(jié),增強了工藝靈活性。抽氣能力強:最大抽速可達100,000L/min,極限壓力為0.3Pa,能夠快速有效地抽取氣體,滿足不同應(yīng)用場景...
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KASHIYAMA日本樫山真空泵SDX1800的特點無油干式設(shè)計:采用無潤滑油機械結(jié)構(gòu),可避免介質(zhì)污染,適用于超潔凈工藝環(huán)境,如半導(dǎo)體晶圓制造等。氮氣吹掃功能:支持氮氣吹掃功能,氮氣流量可在0至80SLM范圍內(nèi)調(diào)節(jié),增強了工藝靈活性。高效節(jié)能:通過新型加熱器系統(tǒng)與機械結(jié)構(gòu)優(yōu)化,實現(xiàn)了低功耗化,功率僅1.5kW。抽氣能力強:最大抽速可達10,000L/min,極限壓力為0.5Pa,能夠快速有效地抽取氣體,滿足不同應(yīng)用場景的真空需求。小型化設(shè)計:外形尺寸為695×285×820m...
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KASHIYAMA日本樫山真空泵SDT1200的特點無油干式設(shè)計:采用無潤滑油機械結(jié)構(gòu),可避免介質(zhì)污染,適用于超潔凈工藝環(huán)境,如半導(dǎo)體晶圓制造等。氮氣吹掃功能:支持氮氣吹掃功能,氮氣流量可在0至80SLM范圍內(nèi)調(diào)節(jié),增強了工藝靈活性。高效節(jié)能:通過新型加熱器系統(tǒng)與機械結(jié)構(gòu)優(yōu)化,實現(xiàn)了低功耗化,功率僅1.5kW。抽氣能力強:最大抽速可達10,000L/min,極限壓力為0.5Pa,能夠快速有效地抽取氣體,滿足不同應(yīng)用場景的真空需求。小型化設(shè)計:外形尺寸為695×285×820m...
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